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                简介
                规格参数
                功能图解
                应用系统
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                简介


                Suragus面阻测试仪来自∑德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线面阻监测ぷ具有重要意义。

                 

                 

                 

                规格参数


                测量模式:非接▓触式实时测量

                衬底:foils, glass, wafer等

                检测间距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

                传感器数目:1 – 99

                面阻范围: 0.0001~1000 Ohm/sq

                薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而︻定)

                工作环境:真空 /  非真空  

                工作温度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

                采样率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

                配套设备(选配):硬件触发 / 条ω 形码阅读器

                选配功能:导电膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向异性

                 

                 

                功能图解


                 

                 

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                Suragus面阻测试仪来自№德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线面▆阻监测具有重要意义。

                测量模式:非接触式实时测量

                衬底:foils, glass, wafer等

                检测间距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

                传感器数目:1 – 99

                面阻范围: 0.0001~1000 Ohm/sq

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                工作温度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

                采样率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

                配套设备(选配):硬件触发 / 条形码』阅读器

                选配功能:导电膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向异性

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